下载聚合物、有机膜组合物及图案形成方法的技术资料

文档序号:24521921

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涉及包括由下述化学式1表示的部分的聚合物、包括所述聚合物的有机膜组合物以及使用所述有机膜组合物的图案形成方法。在所述化学式1中,X以及Y独立地为包括至少一个杂原子的五边形环基团。...
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