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本发明公开了一种硅片清洗装置，包括清洗槽，其中设置清洗液，清洗槽上方设置有花篮固定装置，花篮固定装置可带动位于其中的花篮上下移动，所述花篮固定装置下方设置有罩板，所述花篮固定装置在竖直方向的投影落在罩板在竖直方向的投影范围内；所述罩板包括左...
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