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晶体取向图生成装置、带电粒子射线装置、晶体取向图生成方法以及程序制造方法及图纸
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文档序号:24505695
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一种晶体取向图生成装置(10),被用于向样品的表面入射带电粒子射线的带电粒子射线装置(100),装置(10)是用于生成晶体取向图的装置,该晶体取向图是表示相对于带电粒子射线的入射方向的、在样品表面的选择出的位置处的晶体的晶体坐标系的图,该装...
该专利属于日本制铁株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本制铁株式会社授权不得商用。
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