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清洗溶剂组合物的再生方法和再生装置、以及被清洗物的清洗方法和清洗系统制造方法及图纸
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文档序号:24505090
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本发明提供一种能够有效地分离污垢成分的清洗溶剂组合物的再生方法。其为溶解有污垢成分的清洗溶剂组合物的再生方法,清洗溶剂组合物含有氟系溶剂和易燃性有机溶剂,该清洗溶剂组合物的再生方法包含以下工序:工序(A),使污垢成分从溶解有污垢成分的清洗溶...
该专利属于日本瑞翁株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本瑞翁株式会社授权不得商用。
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