下载MEMS麦克风的技术资料

文档序号:24503365

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本实用新型提供一种MEMS麦克风,包括基板、与基板形成封装结构的外壳,以及设置在封装结构内的MEMS芯片和ASIC芯片;MEMS芯片和ASIC芯片固定在基板上;ASIC芯片分别通过电连接线与基板和MEMS芯片导通;在ASIC芯片外侧设置有包...
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