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本发明公开了一种射频磁控溅射法制备高性能全固态薄膜锂电池的方法。该方法包括以下步骤：(1)设计在不同径向尺寸上相同电池形状的掩模版；(2)在衬底基片上覆盖掩模版，在磁控溅射设备上装样，安装靶材；(3)射频磁控溅射法溅射正极集流体、正极、电解...
该专利属于有研工程技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研工程技术研究院有限公司授权不得商用。

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