下载一种半导体器件及其制备方法的技术资料

文档序号:24502122

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本发明公开一种半导体器件及其制备方法,属于集成电路技术领域。本发明的半导体器件包括:衬底;源极,形成于所述衬底中的一侧;漏极,形成于所述衬底中相对于所述源极的另一侧;栅极,其形成于所述衬底表面;第一隔离结构,其位于所述栅极邻近所述漏极的一侧...
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