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本实用新型公开了一种适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具，包括六吋底座、五吋板、光罩夹、底座、站脚、第一滑块、压板和第二滑块，所述六吋底座内侧安装有五吋板，六吋底座外侧安装有底座，底座底端安装有站脚，底座侧边中部安装有第一滑块，第一滑块上...
该专利属于上海凸版光掩模有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海凸版光掩模有限公司授权不得商用。

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