下载激光照射方法的技术资料

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一种激光照射方法包括:第一扫描,其中通过使用点激光束沿Y方向移动基板的表面上的激光照射区域,在具有X方向上的宽度和Y方向上的长度的第一区域中扫描激光束;以及第二扫描,其中通过使用点激光束沿Y方向移动基板的表面上的激光照射区域,在具有X方向上...
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