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激光照射方法技术
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文档序号:24496234
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一种激光照射方法包括:第一扫描,其中通过使用点激光束沿Y方向移动基板的表面上的激光照射区域,在具有X方向上的宽度和Y方向上的长度的第一区域中扫描激光束;以及第二扫描,其中通过使用点激光束沿Y方向移动基板的表面上的激光照射区域,在具有X方向上...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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