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光波导结构制造技术
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文档序号:24496164
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本发明公开一种光波导结构,其包括底层、中间波导层及上包覆层。中间波导层配置于底层上。上包覆层配置于中间波导层上,且覆盖中间波导层。中间波导层的折射率大于底层的折射率,且大于上包覆层的折射率。光波导结构具有第一末端区与第二末端区,在第一末端区...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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