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一种贵金属增强型半导体异质结气体传感器制造技术
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文档序号:24495104
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本发明涉及一种贵金属增强型半导体异质结气体传感器,包括基底层,所述基底层的上方设置有半导体异质结,所述半导体异质结的上方设置有多个间隔排列的贵金属块,所述基底层与半导体异质结之间还设置有相互间隔的第一电极、第二电极;该贵金属增强型半导体异质...
该专利属于电子科技大学中山学院所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学中山学院授权不得商用。
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