下载一种侧激发Kretschmann型波导SPR传感器的制备方法的技术资料

文档序号:24494895

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本发明提供一种新型侧激发波导SPR传感器的制备方法,包括如下步骤:步骤A,在晶体片的上表面制备两条相互交叉的波导,分别作为入射、出射波导;步骤B,用精密金刚石刀切割的方法,在两波导交叉处位置切割形成一凹槽,所述凹槽的走向要求为两波导与凹槽内...
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