一种侧激发Kretschmann型波导SPR传感器的制备方法技术

本发明专利技术提供一种新型侧激发波导SPR传感器的制备方法，包括如下步骤：步骤A，在晶体片的上表面制备两条相互交叉的波导，分别作为入射、出射波导；步骤B，用精密金刚石刀切割的方法，在两波导交叉处位置切割形成一凹槽，所述凹槽的走向要求为两波导与凹槽内侧壁形成的夹角相等，且两波导位于凹槽同侧；步骤C，在凹槽中靠近波导一侧的侧壁上，沉积一层约几十纳米厚度的金属薄层。该方案可以实现各类晶体波导的表面等离子体共振的相位匹配，从而实现基于不同种类晶体材料的波导SPR传感功能。另外，通过结构参数的调节，可以对共振波长及灵敏度实现较大范围的自由调节。

Preparation of a side excited Kretschmann waveguide SPR sensor

【技术实现步骤摘要】
一种侧激发Kretschmann型波导SPR传感器的制备方法
本专利技术属于光学传感领域，特别涉及到一种侧激发Kretschmann型波导SPR传感器的制备方法。
技术介绍
表面等离子体共振（SurfacePlasmonResonance,SPR）是实现光学传感的一种重要方法，目前应用最广泛的SPR传感器是利用Kretschmann结构，即使用准直激光束照射高折射率棱镜侧面，通过棱镜来激发金属薄层与待测物质界面处的表面等离激元。当角度或波长达到特定值时，发生共振，反射谱上则出现一个吸收峰，通过读取吸收峰的位置，可以反推出待测样品的折射率信息，从而实现传感功能。SPR传感器具有较高的探测灵敏度，在生化传感、医学诊断等领域具有广泛的应用。然而，传统的棱镜型SPR传感器体积较为庞大，便携性差，不适合非实验室环境的探测需求，因此，SPR传感器的小型化、集成化受到了研究者的广泛关注。其替代方案主要包括光纤型SPR传感器及波导SPR传感器。光纤SPR传感器需要经过研磨、刻蚀、拉锥等方式将倏逝场引出，或使用多芯光纤、D型光纤等昂贵的特种光纤，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种侧激发Kretschmann型波导SPR传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤A，在晶体片的上表面制备两条相互交叉的波导，分别作为入射、出射波导；/n步骤B，使用精密金刚石刀切割的方法，在两波导交叉处位置切割形成一凹槽，所述凹槽的走向要求为两波导与凹槽内侧壁形成的夹角相等，且两波导位于凹槽同侧；/n步骤C，在凹槽中靠近波导一侧的侧壁上，沉积一层约几十纳米厚度的金属薄层。/n

【技术特征摘要】
1.一种侧激发Kretschmann型波导SPR传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤A，在晶体片的上表面制备两条相互交叉的波导，分别作为入射、出射波导；
步骤B，使用精密金刚石刀切割的方法，在两波导交叉处位置切割形成一凹槽，所述凹槽的走向要求为两波导与凹槽内侧壁形成的夹角相等，且两波导位于凹槽同侧；
步骤C，在凹槽中靠近波导一侧的侧壁上，沉积一层约几十纳米厚度的金属薄层。


2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤A所述入射与出射波导的夹角根据晶体折射率、需要得到的共振波长范围及传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚一村，陈南光，田振，张丽强，纪红柱，王宗良，任世杰，
申请(专利权)人：聊城大学，
类型：发明
国别省市：山东;37