下载一种真空系统漏点快速非接触检测方法的技术资料

文档序号:24494223

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本发明公开一种真空系统漏点快速非接触检测方法,包括,在真空系统待检测区域施加低沸点液体;对真空系统待检测区域所处环境中各处温度进行探测;根据所探测到低温位点集聚区域定位真空系统漏点。该方法操作简单,定位速度快,检测效率高,抗干扰能力强,检测...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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