下载微机电泵模块的技术资料

文档序号:24492244

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种微机电泵模块,包含:一微处理器,发出一控制信号;一微机电芯片,电连接该微处理器,该微机电芯片包含:一芯片本体;多个微机电泵,设置于该芯片本体,且分别具有一第一电极及一第二电极;以及至少一共电极,设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。