【技术实现步骤摘要】
微机电泵模块
本案关于一种微机电泵模块，尤指一种利用共电极的设置来减少微处理器的接点，进而简化微机电泵接点与布线的微机电泵模块。
技术介绍
随着科技的日新月异，流体输送装置的应用亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的泵已渐渐有朝向装置微小化的趋势，但传统的泵难以将尺寸缩小至公厘等级，故目前的微型流体输送装置仅能使用压电泵结构来作为微型流体传输装置。而微机电泵虽可将泵的体积微小化至微米等级，但微米等级的微机电泵会因为过小的体积而限制流体传输量，故需要多个微机电泵搭配使用，请参考图1所示，目前的微机电泵模块皆是通过一个高阶微处理器1做个别控制，但高阶微处理器1本身成本高，且每个微机电泵2都必须要两个微处理器接脚11连接，增加了高阶微处理器1的成本，导致微机电泵模块成本居高不下，难以普及，因此，如何降低微机电泵模块的驱动端的成本为目前微机电泵首要克服的难关。
技术实现思路
本案的主要目的在于提供一种微机电泵模块，通过...
【技术保护点】
1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：/n一微处理器，发出一控制信号；/n一微机电芯片，电连接该微处理器，包含：/n一芯片本体；/n多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；以及/n至少一共电极，设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该第二电极；/n其中，该多个微机电泵的该第一电极与该微机电芯片的该至少一共电极电连接该微处理器，以接收该控制信号。/n
【技术特征摘要】
1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：
一微处理器，发出一控制信号；
一微机电芯片，电连接该微处理器，包含：
一芯片本体；
多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；以及
至少一共电极，设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该第二电极；
其中，该多个微机电泵的该第一电极与该微机电芯片的该至少一共电极电连接该微处理器，以接收该控制信号。
2.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一共电极包含一第一共电极。
3.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵的第二电极电连接该第一共电极。
4.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一共电极更包含一第二共电极。
5.如权利要求4所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组及一第二微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一共电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第二共电极。
6.如权利要求4所述的微机电...
【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，余荣侯，张正明，戴贤忠，廖文雄，黄启峰，韩永隆，陈宣恺，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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