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本发明公开了一种钼铝兼容蚀刻液，包括磷酸、硝酸、醋酸、氯酸、表面活性剂、金属抑制剂、助剂和水；以所述钼铝兼容蚀刻液的总重量为基准，所述磷酸的含量为60‑68％、硝酸的含量为2.5‑3％、醋酸的含量为19‑25％、氯酸的含量为2‑5％，表面活...该专利属于江苏中德电子材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中德电子材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种钼铝兼容蚀刻液，包括磷酸、硝酸、醋酸、氯酸、表面活性剂、金属抑制剂、助剂和水；以所述钼铝兼容蚀刻液的总重量为基准，所述磷酸的含量为60‑68％、硝酸的含量为2.5‑3％、醋酸的含量为19‑25％、氯酸的含量为2‑5％，表面活...