温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种ALD加热炉，包括筒状腔体，筒状腔体的两端设置分别设置前炉门和后炉门，筒状腔体内部设置有导流腔，在前炉门处设置进气组件，所述进气组件包括一个导流腔门、外层均流板以及内层均流板，内腔门上与外层匀流板对应位置有凹陷，形成一个圆形...
该专利属于无锡市正罡自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市正罡自动化设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。