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一种氧化铝薄膜的制备方法，该方法包括膜料清洗提纯、膜料预熔和电子束反应蒸发氧化铝薄膜沉积过程，所述膜料为金属铝颗粒或块体，反应气体为氧气。本发明充分利用了电子束反应蒸发在速率稳定性和充分氧化方面的优势，可以制备出低吸收低缺陷氧化铝薄膜，大幅...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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