下载一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法的技术资料

文档序号:24487540

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及材料科学技术领域,且公开了一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法,包括以下步骤:步骤一:准备工作:预备透射电子显微镜,以及用于对CVD钻石进行固定的装置,将需要用于注入的氮原子材料放置在透射电子显微镜内,用于预备使用,并启动透...
该专利属于湖州中芯半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖州中芯半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。