温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及化学机械式研磨装置用承载头的卡环及具备其的承载头，承载头包括：承载头本体；隔膜，其安装于承载头本体的下面，将基板加压于研磨垫；延长瓣，其在隔膜的外侧面延伸；卡环，其安装于延长瓣上，用于约束基板的侧面。...
该专利属于凯斯科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过凯斯科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。