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本发明公开了一种电热控温式的化学机械抛光平台，包括抛光盘和旋转轴，还包括温度控制器和加热器，抛光盘包括面板、底座和中空的连接座，底座上表面开设有凹槽，凹槽内设置有陶瓷盘，陶瓷盘中部开设有连接避位孔，陶瓷盘上开设有盘旋槽，盘旋槽内设置有加热丝...
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