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本发明提供了一种设置研磨时间上限和研磨时间下限的方法及装置，该方法包括获取第一预设数量个型号相同的晶圆分别对应的理想研磨时间；对理想研磨时间进行拟合，得到拟合函数；根据理想研磨时间对应的理想研磨时间区域，将拟合函数加上第一阈值作为研磨时间上...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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