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本发明公开了一种离子束抛光单片集成Fabry‑Pérot腔全彩滤光片大批量制造方法。该方法首先是准备一片衬底，开展衬底材料的单点驻留抛光试验，对衬底材料开展不同扫描速度条件下的分区域加工，制成微纳米台阶阵列结构模板；将模板上微纳米台阶阵列结...
该专利属于湖南大学所有，仅供学习研究参考，未经过湖南大学授权不得商用。

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