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本实用新型创造提供了一种集成式PECVD，包括工作台和工作台上设置的气相沉积机构，该气相沉积机构包括工作台上滑动设置的炉体、以及炉体上设置的石英管，所述工作台上设有用于驱动炉体移动的驱动器；所述工作台上对应石英管两端的位置设有用于支撑石英管...
该专利属于天津中环电炉股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中环电炉股份有限公司授权不得商用。

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