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本实用新型涉及研磨设备技术领域，具体为一种半导体材料研磨设备，包括底座，所述底座的底部固定连接有支撑腿，所述底座的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴远离电机的一端固定连接有研磨头，所述顶板的底部固定连接有伸缩...
该专利属于江苏邑文微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏邑文微电子科技有限公司授权不得商用。

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