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中国科学院半导体研究所
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中红外GaSb基半导体碟片激光器制造技术
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文档序号:24465020
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本公开提供一种中红外GaSb基半导体碟片激光器,包括:铜热沉,该铜热沉上有一凹槽;TEC散热模块,位于所述铜热沉下,用于加电流之后控制热沉的温度;芯片模块,对应所述凹槽设置于所述铜热沉上部,包括一外延芯片,以及分别键合于所述外延芯片上下表面...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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