下载一种激光器结构及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:24465007

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本发明提出一种激光器结构及其制备方法和应用,所述激光器结构包括:衬底;外延层,设置在所述衬底上,所述外延层包括层叠的下包层、有源层、上包层和欧姆接触层;脊型波导,形成在所述上包层上;多个周期调制光栅,形成在所述上包层上,并位于所述脊型波导的...
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