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一种发光二极管及其制作方法技术
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文档序号:24463923
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一种发光二极管的制作方法,包括:(1)通过外延生长工艺形成发光二极管的外延层以及待剥离牺牲层,待剥离牺牲层位于外延层的一面侧;(2)通过光罩工艺和蚀刻工艺处理所述牺牲层,形成牺牲层图形,在牺牲层图形周围外延层的所述一面侧被部分暴露;(3)在...
该专利属于天津三安光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津三安光电有限公司授权不得商用。
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