下载NLDMOS器件及工艺方法的技术资料

文档序号:24463815

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本发明公开了一种NLDMOS器件,在第一导电类型的衬底上具有第一及第二深阱,所述第一深阱上具有场氧。所述第一导电类型的衬底表面具有栅氧化层及多晶硅栅极,所述第一深阱中含有NLDMOS器件的漏区,所述第二深阱中含有第一导电类型的第三阱,第三阱...
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