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本发明公开了一种薄膜晶体管阵列面板及其制作方法，包括：形成一器件板，所述器件板依次层叠有基板、栅极、栅极绝缘层、有源层和金属层；在所述金属层上形成光刻胶层，所述光刻胶层包括光刻胶层的第一部分和光刻胶层的第二部分；利用掩模板和激光束的组合对所...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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