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本发明提供了一种晶片托盘定位机构和湿法栏具提升固定装置，其中，晶片托盘定位机构，包括固定座、安装座、第一驱动部、托起组件和下压组件；第一驱动部安装在固定座上并与安装座相连，第一驱动部用于驱动安装座沿第一方向移动；下压组件和托起组件分别设置在...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。

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