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本发明涉及半导体加工设备领域，尤其涉及一种等离子清洗设备用翻转装置，包括翻转机构、载片机构和传送机构，所述翻转机构用于带动载片机构进行翻转，所述载片机构设于翻转机构上，用于承载待清洗产品，所述传送机构用于将载片机构上的待清洗产品送入等离子清...
该专利属于无锡电基集成科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡电基集成科技有限公司授权不得商用。

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