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一种槽式湿法刻蚀装置包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道，其中，所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，...
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