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本发明涉及一种用于测量晶片的传感器站，包括用于测量晶片的至少一个特性的至少一个传感器设备以及输送装置的至少一个部段。输送装置限定输送方向，运动的晶片沿着输送装置确定对于运动的晶片保持畅通的空间。传感器设备在保持畅通的空间的下侧上和/或上侧上...
该专利属于亨内克系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亨内克系统有限公司授权不得商用。

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