下载P型GaAs层及其外延生长方法、GaAs太阳能电池及制备方法的技术资料

文档序号:24463205

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本发明提供了一种P型GaAs层及其外延生长方法、GaAs太阳能电池及制备方法。外延生长方法,包括:步骤S1,向反应室中通入镓源、砷源和P型掺杂源以进行外延生长,得到P型GaAs基层;步骤S2,停止通入P型掺杂源,向反应室内通入铟源在P型Ga...
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