下载一种浮结型肖特基势垒二极管的技术资料

文档序号:24457128

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本实用新型涉及一种浮结型肖特基势垒二极管,包括:衬底层1;外延层2,位于所述衬底层1上层;浮结层4,位于所述外延层2上层的两侧;绝缘型多晶硅层5,位于所述浮结层4上层;沟槽6,位于所述绝缘型多晶硅层5上层;肖特基接触阴极7,位于所述衬底层1...
该专利属于西安电子科技大学芜湖研究院所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学芜湖研究院授权不得商用。

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