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本实用新型公开了一种晶圆卡盘，用于配合点墨结构使用以对晶圆进行打点，其包括用于承载晶圆的卡盘本体和装设在卡盘本体的调试件，调试件的上表面形成有用于供点墨结构打点的调试区域，以调试点墨结构所形成的墨点的大小和厚度；本实用新型在不会在晶圆上留下...
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