下载一种智能型半导体加工载具的技术资料

文档序号:24456970

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本实用新型属于半导体技术领域,尤其为一种智能型半导体加工载具,包括基板,所述基板的顶部设有凹槽,所述凹槽的内腔底部设有感压件,所述感压件的顶部固定有承载板,所述承载板的顶部设有用于半导体器件定位夹紧的嵌装槽,所述承载板的顶部对应嵌装槽的两端...
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