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本实用新型涉及电子设备生产的技术领域，特别是涉及一种半导体晶圆清洗装置，其提升半导体晶圆的生产效率，提高实用性；包括清洗仓、顶仓、顶板、支架、四组基座、两组导柱、液压缸、连接板、多孔板和操作面板，清洗仓的内部设置有腔室，清洗仓的顶端设置有上...
该专利属于河北光森电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北光森电子科技有限公司授权不得商用。

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