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本发明公开了一种芯片制造设备的监控方法、系统和装置。其中，该方法包括：上位机确定芯片制造设备当前所执行的任务和任务所处的阶段；上位机确定与任务和阶段对应的工艺参数采集视图，工艺参数采集视图用于指示数据采集参数，数据采集参数包括：采集项目和/...
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