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本申请涉及光刻设备、确定方法和制造物品的方法，提供了一种能够在较短时间段中检测原版的异常保持的光刻设备。该光刻设备被配置为通过使用原版在基板上形成图案，并且该光刻设备包括：被配置为保持其上形成有第一标记的原版的保持单元；被配置为拾取第一标记...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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