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本发明公开了一种高折射率差YAG单晶异质结构薄膜波导及其制备方法，包括有He离子注入的YAG晶体(1)和YAG晶体衬底(2)，其特征在于，在所述He离子注入的YAG晶体(1)的注入面之下依次具有SiO...
该专利属于深圳技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳技术大学授权不得商用。

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