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光学测量装置与方法制造方法及图纸
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文档序号:24452100
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本发明公开一种光学测量装置与方法,其中该光学测量装置用以测量光子集成电路。光学测量装置包括基板、至少一光波导元件、第一连接器及第二连接器。此至少一光波导元件配置于基板上。第一连接器与第二连接器连接至此至少一光波导元件。来自第一光纤的光信号依...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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