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本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，尤其为一种晶圆曝光机，包括支架和箱体，所述支架的底端安装在所述箱体上表面的左侧，所述支架另一端上安装有灯罩，所述灯罩的下端安装有曝光管，所述箱体上表面的右侧设置有转盘，所述箱体的首端设置有控制面板，所述箱...
该专利属于无锡市查奥微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市查奥微电子科技有限公司授权不得商用。

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