下载一种力传感器的技术资料

文档序号:24449647

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本发明实施例公开了一种力传感器,该力传感器包括:壳体,壳体上设置有开口;压缩结构,密封设置于壳体的开口处,压缩结构与壳体形成空腔;压力感测MEMS芯片,设置于空腔内;ASIC芯片,设置于空腔内,与压力感测MEMS芯片电连接;其中,压缩结构与...
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