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包括用于热短路的可变形部的悬浮膜热探测器制造技术
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下载包括用于热短路的可变形部的悬浮膜热探测器的技术资料
文档序号:24449524
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本发明涉及一种热探测器,其包括衬底(10)、吸收膜(20),该吸收膜包括固定部(21)和可变形部(30),所述可变形部包括形状记忆合金,并且相对于衬底布置成,使得其自由端(32)在高于奥氏体化开始温度A...
该专利属于原子能和替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过原子能和替代能源委员会授权不得商用。
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