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中国科学院半导体研究所
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混合集成的光纤传感用光学器件制造技术
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文档序号:24449215
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本公开提供一种混合集成的光纤传感用光学器件,包括:光收发单元,用于发射、探测传感光信号;3×1型PLC芯片,与所述光收发单元相连,用于传感光信号的耦合分光合束;Y分支型铌酸锂波导芯片,与所述3×1型PLC芯片相连,用于对传感光信号进行相位调...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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