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本发明公开了一种用于微纳结构表面三维形貌快速测量的双差动型结构光照明显微测量方法。通过DMD投影编码光场到被测物体表面，采用三个CCD探测路径构建双差动测量方法，对三个探测路径的光强信息进行同步采集。采用相移算法解出三CCD系统所采集的编码...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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