下载硅片清洗线的管道改进清洗装置的技术资料

文档序号:24443531

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本实用新型涉及硅片加工技术领域,且公开了硅片清洗线的管道改进清洗装置,包括清洗池,所述清洗池的下方固定安装有排水池,所述清洗池的内腔上方活动套接有上压辊,所述清洗池的下方活动套接有下压辊,所述清洗池的腔上方固定安装有集水管,所述排水池的前面...
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